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产品详情

低脉动气动风囊泵

● 低脉动
独特的系统驱动机制，确保气囊最佳运动效果，将脉动减到最低。

● 减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩空气消耗量。

● 高持续压力
最佳的气囊运动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，尤其在单晶圆处理过程中。

● 无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以最小化。

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