适用于各类供药系统，吐出量达100L/min

● 高速冲程

高速冲程 (FS-80N最高达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。

● 无污染设计

过流端采用氟树脂无污染构造，使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请专利)。

高流量及高吐出压力
最大吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗及CMP制程。

● 传感器驱动系统

内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。