易威奇风囊泵低脉动气动风囊泵
低脉动
独特的系统驱动机制，确保气囊运动效果，将脉动减到低。
减低压缩空气消耗量
在不影响泵的性能下，减少高达30%的压缩空气消耗量。
高持续压力
的气囊运动，有效提高压力的承受能力，以维持稳定的流量和负载频繁变化下的吐出压力，尤其在单晶圆处理过程中。
无需阻尼器
泵的运作无需使用阻尼器，节省设备空间及安装费用，例如氟塑料接管等。整体设备的重量/尺寸得以小化。